創(chuàng)新標桿十人談丨對話納維科技徐科：從實驗室到全球市場，我們與蘇州納米新材料產(chǎn)業(yè)共舞
2025-05-09
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典型GaN射頻器件的工藝流程
- 分類：行業(yè)動態(tài)
- 作者：
- 來源：
- 發(fā)布時間：2022-09-26
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【概要描述】典型的GaN射頻器件的加工工藝主要包括如下環(huán)節(jié)：外延生長-器件隔離-歐姆接觸（制作源極、漏極）-氮化物鈍化-柵極制作-場板制作-襯底減薄-襯底通孔等環(huán)節(jié)。
典型GaN射頻器件的工藝流程
【概要描述】典型的GaN射頻器件的加工工藝主要包括如下環(huán)節(jié)：外延生長-器件隔離-歐姆接觸（制作源極、漏極）-氮化物鈍化-柵極制作-場板制作-襯底減薄-襯底通孔等環(huán)節(jié)。
- 分類：行業(yè)動態(tài)
- 作者：
- 來源：
- 發(fā)布時間：2022-09-26
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詳情
典型的GaN射頻器件的加工工藝主要包括如下環(huán)節(jié)：外延生長-器件隔離-歐姆接觸（制作源極、漏極）-氮化物鈍化-柵極制作-場板制作-襯底減薄-襯底通孔等環(huán)節(jié)。
外延生長
采用金屬氧化物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）或分子束外延（MBE）方式在SiC或Si襯底上外延GaN材料。
器件隔離
采用離子注入或者制作臺階（去除掉溝道層）的方式來實現(xiàn)器件隔離。射頻器件之間的隔離是制作射頻電路的基本要求。
歐姆接觸
形成歐姆接觸是指制作源極和漏極的電極。對GaN材料而言，制造歐姆接觸需要在很高的溫度下完成。
氮化物鈍化
在源極和漏極制作完成后，GaN半導(dǎo)體材料需要經(jīng)過鈍化過程來消除懸掛鍵等界面態(tài)。GaN的鈍化過程通常采用SiN（氮化硅）來實現(xiàn)。
柵極制作
在SiN鈍化層上開口，然后沉積柵極金屬。至此，基本的場效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)就成型了。
場板制作
柵極制作完成后，繼續(xù)沉積額外的幾層金屬和氮化物，來制作場板、互連和電容，此外，也可以保護器件免受外部環(huán)境影響。
襯底減薄
襯底厚度減薄至100μm左右，然后對減薄后的襯底背部進行金屬化。
襯底通孔
通孔是指在襯底上表面和下表面之間刻蝕出的短通道，用于降低器件和接地(底部金屬化層)之間的電感。
出處：www.qorvo.com
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